فتولیتوگرافی (Photolithography)
دریافت نوبت لیتوگرافی
جهت دریافت نوبت پس از خواندن کامل موارد زیر فرم درخواست انجام فتولیتوگرافی را دانلود کرده و پرنمایید و جهت بررسی به نشانی ایمیل زیر ارسال نمایید و یا به صورت حضوری پس از دریافت مشاوره از اپراتور به همراه نمونهها فرم را تحویل دهید.
برای دریافت اطلاعات بیشتر مانند
- نحوه رزرواسیون و ارائه خدمات
- نحوه محاسبه و پرداخت هزینهها در قالب گرنتهای شبکه راهبردی، داخلی و ...
- تحلیل دادههای تصویربرداری و مشخصه یابی
به لینک زیر مراجعه نمایید.
راههای ارتباطی با مسئول و اپراتور دستگاه
خانم دکتر کاظمی
شمارههای تماس:
داخلی:
۵۸۷۶
تماس مستقیم:
۰۲۱۷۷۲۴۰۴۸۴
سایر شماره ها:
۰۲۱۷۳۲۲۵۸۷۶
۰۲۱۷۳۲۲۵۸۶۳
شماره واتساپ (فقط پیام):
پیام در واتساپ
ایمیل: physics_lab iust.ac.ir
اطلاعات بیشتر درباره دستگاه و خدمت فتولیتوگرافی
معرفی فتولیتوگرافی
فوتولیتوگرافی یا طرحنگاری نوری، در ساخت قطعات الکترونیک بکار میرود. در این فرایند، میکروساخت استفاده شده و جهت تهیه الگو در بخشهایی از انواع لایه های نازک استفاده میشود. در این فرایند پس از نشاندن یک لایه پلیمری حساس به نور (مانند فتورزیست، PMMA و SU۸) روی سطح زیرلایه، پرتوی همگن از یک ماسک عبور کرده و طرحی روی پلیمر ایجاد میکند. پس از ایجاد طرح روی پلیمر، نواحی نور دیده، با مقاومت در برابر خوردگی، واسطه انتقال طرح به لایه زیرین میشوند.
نکته کلیدی در این فرایند، طراحی ماسک است. یکی از ساده ترین رویکردها، رسم طرح با ابعاد مناسب در نرم افزارهایی نظیر AutoCAD و Corel و چاپ لیزری آن بر روی طلق می باشد. در دستگاه فتولیتوگرافی این آزمایشگاه امکان آنتقال طرح دلخواه شما از روی طلق بصورت یک به یک و نیز کاهنده (تا ۱/۷) بر روی زیر لایه مناسب (مانند شیشه حاوی لایه نازک کروم، نیکل و ...) وجود دارد. در صورت نیاز، در این مرکز سفارش تهیه ماسک با ابعاد مورد نظر شما پذیرفته میشود. این مرکز، مجهز به تجهیزات طراحی، ساخت و مشخصه یابی ماسک نظیر دستگاههای اسپین کوت، آون، لایه نشانی تبخیر حرارتی، میکروسکوپ نوری بازتابی و میکروسکوپ اتمی می باشد.
جهت انجام خدمات پس از خواندن کامل موارد زیر فرم درخواست انجام خدمت را دانلود کرده و پرنمایید و جهت بررسی به نشانی ایمیل زیر ارسال نمایید و یا به صورت حضوری پس از دریافت مشاوره از اپراتور به همراه نمونهها فرم را تحویل دهید.
نکات مهم در خدمت فتولیتوگرافی
-
انجام لیتوگرافی به صورت حضوری و غیر حضوری انجام میشود.
-
استفاده از گرنت شبکه آزمایشگاهی لبزنت مجاز است ولی برای استفاده از گرنت در صورت عدم انتقال گرنت استاد به دانشجو، اگر تحویل دهنده صاحب گرنت نمیباشد، باید قبل از انجام آنالیز رضایت صاحب گرنت به یکی از روشهای ۱) تایید با ارسال ایمیل ۲) تایید از طریق تلفن ثابت دفتر و یا ۳) تایید کتبی به اطلاع مسئول ازمایشگاه برسد، در غیر این صورت هزینه آنالیز بدون در نظر گرفتن گرنت محاسبه میشود.
-
نمونهها حتما باید به صورت مجزا و نام گذاری شده در ظروف درب بسته تحویل داده شوند. اگر توضیحاتی برای نمونهها لازم است حتما به صورت کتبی و یا شفاهی به اپراتور اطلاع رسانی شود.
-
اگر نمونهها دارای پشت و رو و یا بالا و پایین میباشند حتما توسط علامت گذاری مشخص شوند.
-
شرایط نگهداری و ایمنی نمونهها حتما توسط فرم درخواست به اطلاع اپراتور برسد.
-
حتما تمام موارد خواسته شده در داخل فرم درخواست خدمت به دقت مطالعه و کاملا پر شوند.
نمونه تهیه شده توسط لیتوگرافی:
|
